发布日期:2025-08-10 13:46点击次数:
证券之星消息,根据天眼查APP数据显示中微公司(688012)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种混气装置和半导体制造设备”,专利申请号为CN202422400968.5,授权日为2025年8月8日。
专利摘要:本实用新型公开了一种混气装置和半导体制造设备,混气装置包括混气管路、第一进气管路和出气管路。混气管路的中心轴线为第一中心轴,混气管路的侧壁上设置有第一进气口,混气管路的两端区域设置有第二进气口和第一出气口;第一进气管路连接于第一进气口,第一进气管路的中心轴线为第二中心轴,第二中心轴与第一中心轴异面;出气管路的一端连接于第一出气口,出气管路的另一端设有第二出气口。本实用新型的混气装置,将第一进气口的进气轴线与混气管路的中心轴线异面设置,来自第一进气口的气体在混气管路内形成螺旋状的气流,和第二进气口进入的气流混合均匀,提高来自第一进气口和第二进气口的气体混合均匀性。
今年以来中微公司新获得专利授权100个,较去年同期增加了14.94%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了14.18亿元,同比增73.59%。
通过天眼查大数据分析,中微半导体设备(上海)股份有限公司共对外投资了29家企业,参与招投标项目67次;财产线索方面有商标信息98条,专利信息1524条,著作权信息13条;此外企业还拥有行政许可76个。
数据来源:天眼查APP
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